乙硅烷的制备

• 作者: 余京松 沃银花
• 来源期刊: 低温与特气
• 学科: 工学
• 关键词: 乙硅烷 制备
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 本刊特稿
• 页码范围: 39-40
• 页数: 2页
• 分类号: TQ117
• 字数: 2257字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7804.2013.01.010

摘要

概述了乙硅烷的制备方法并对各种方法进行了评价.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沃银花	浙江大学半导体材料研究所	21	155	8.0	11.0
2	余京松	浙江大学半导体材料研究所	9	78	5.0	8.0