移动互联网络时代MEMS技术的创新发展

• 作者: 赵正平
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 纳机电系统(NEMS) 加速度计 陀螺仪 微麦克风 数字微镜器件(DMD) 微能量采集器 喷墨头
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 技术论坛
• 页码范围: 337-341
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2013.06.001

摘要

微电子机械系统(MEMS)技术是半导体微电子学的创新,利用Si基集成电路的平面工艺从两维加工向三维加工发展,开创了MEMS新的领域.综述并分析了与信息产业以及移动网络相关的MEMS主流产品(加速度计、陀螺仪、微麦克风、数字微镜器件(DMD)、喷墨头和RF MEMS)的技术发展现状和趋势,同时预测了MEMS新兴产品(光滤波器、微小电子鼻、微扬声器、微超声器、微能量采集器和纳机电系统(NEMS))的科研现状和面临的技术挑战.从当前世界MEMS技术发展的特点(系统集成、与CMOS工艺结合走向标准加工、纳米制造与微米、纳米融合和多应用领域扩展)出发,结合国内MEMS技术发展的现状,提出我国MEMS技术发展的建议.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵正平		46	197	7.0	12.0