锂掺杂氧化锌薄膜晶体管的研究

• 作者: 梁波 王江 郭建 金礼
• 来源期刊: 湘潭大学自然科学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜晶体管 溶胶凝胶 锂掺杂 氧化锌
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 物理与土木工程
• 页码范围: 17-19
• 页数: 3页
• 分类号: TB34
• 字数: 1391字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶凝胶法(sol-gel)在P型硅基底制备了锂掺杂氧化锌薄膜.以锂掺杂氧化锌薄膜为沟道层,制备了底栅结构的薄膜晶体管.XRD实验结果表明,500℃退火得到的锂掺杂氧化锌薄膜为纤锌矿结构,具有c轴择优取向.SEM实验结果说明,薄膜晶粒大小约为25 nm,尺度分布均匀.电学测试结果显示器件是N沟道增强型.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭建	湘潭大学材料与光电物理学院	44	134	6.0	9.0
2	金礼	湘潭大学材料与光电物理学院	2	0	0.0	0.0
3	梁波	湘潭大学材料与光电物理学院	5	47	2.0	5.0
4	王江	湘潭大学材料与光电物理学院	2	0	0.0	0.0