氮气流量对电弧离子镀CrN薄膜组织结构和性能的影响

• 作者: 刘野 李洪玉 潘玉鹏 范喜迎 薛利 许世鹏 黄美东
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 电弧离子镀 CrN薄膜 氮气流量 结构 性能
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 63-65
• 页数: 3页
• 分类号: O469
• 语种: 中文

摘要

利用电弧离子镀技术在高速钢基体上于不同氮气流量条件下制备CrN薄膜样品,通过纳米压痕仪、XP-2台阶仪、SEM和XRD测试分析了薄膜的硬度、弹性模量、厚度、表面形貌和物相结构.实验结果表明,氮气流量对CrN薄膜的组织结构和力学性能都具有较为明显的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李洪玉	天津师范大学物理与电子信息学院	33	559	13.0	23.0
2	黄美东	天津师范大学物理与电子信息学院	56	185	7.0	10.0
3	潘玉鹏	天津师范大学物理与电子信息学院	4	25	3.0	4.0
4	刘野	天津师范大学物理与电子信息学院	10	48	5.0	6.0
5	许世鹏	天津师范大学物理与电子信息学院	5	30	5.0	5.0
6	薛利	天津师范大学物理与电子信息学院	6	33	5.0	5.0
7	范喜迎	天津师范大学物理与电子信息学院	3	19	2.0	3.0