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摘要:
在光刻工艺中的显影步骤,显影液在溶解光刻胶的过程中,不同区域光刻胶的溶解速度存在着明显的差异,使得晶圆表面的显影反应存有时间差别。这种反应速率上的差别在实际的生产过程中会产生一些缺陷。金属层划片槽的幻影现象是该类缺陷的一种表现形式。如何去控制这些缺陷的产生,对于提高生产线良率将会显得很重要。文章针对光刻工艺中无钛-氮化钛膜层覆盖的金属层划片槽出现的幻影,分析并提出了产生该现象的机制,与此同时提出了几种解决该现象的方案。
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文献信息
篇名 光刻工艺中金属层划片槽幻影的产生和解决方案
来源期刊 电子与封装 学科 工学
关键词 光刻工艺改善 金属层划片槽 幻影缺陷改善
年,卷(期) 2013,(7) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 25-27
页数 3页 分类号 TN305.7
字数 1246字 语种 中文
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1 周敏祺 1 0 0.0 0.0
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研究主题发展历程
节点文献
光刻工艺改善
金属层划片槽
幻影缺陷改善
研究起点
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子与封装
月刊
1681-1070
32-1709/TN
大16开
江苏无锡市惠河路5号(208信箱)
2002
chi
出版文献量(篇)
3006
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