紫外纳米压印OLED衬底微结构的制备技术

• 作者: 徐维 李阳 王忆
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 有机发光二极管(OLED) 衬底 微结构 模板 紫外纳米压印
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 462-465,469
• 分类号: TN305.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2013.07.011

摘要

在有机发光二极管(OLED)器件衬底上制备可传递三维立体微结构可有效消除波导、增加出光耦合,从而增加器件出光效率.纳米压印技术是制备立体微结构的主要方法之一.采用紫外纳米压印技术在OLED衬底上制备三维立体微结构.首先采用电子束光刻(EBL)技术与千法刻蚀相结合的方法来制备高精度的紫外纳米压印模板；然后对模板进行清洗与抗粘连处理；最后采用紫外纳米压印技术在OLED衬底上成功制备了可传递三维立体微结构.制备结果表明,所形成的微结构具有均匀性好和压印精度高的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王忆	五邑大学应用物理与材料学院	59	242	8.0	12.0
2	李阳	五邑大学应用物理与材料学院	21	33	4.0	4.0
3	徐维	五邑大学应用物理与材料学院	12	21	3.0	3.0