沉积法制备纳米TiO2薄膜

• 作者: 孙志国 谢洪勇 邴乃慈 马长文
• 来源期刊: 中国粉体技术
• 关键词: 纳米TiO2 沉降法 薄膜 等效膜厚 沉积模型
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 纳米技术
• 页码范围: 14-17
• 页数: 4页
• 分类号: O648.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-5548.2013.03.004

摘要

利用TiO2胶体在石英玻璃表面沉积制备TiO2薄膜,用分光光度计测量TiO2薄膜的吸光度,研究沉积时间、TiO2胶体浓度、镀膜次数对TiO2薄膜的沉积吸附过程和等效膜厚的影响,讨论纳米TiO2沉积吸附的类型.结果表明,最大等效膜厚随着TiO2胶体浓度的增大而增加；最佳镀膜次数与TiO2胶体浓度无关,随着沉积时间的延长而减少；用气体吸附的B.E.T.和Langmuir吸附理论分析的纳米TiO2在石英玻璃上的沉积过程与实验结果相符.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢洪勇	上海第二工业大学城市建设与环境工程学院	47	174	9.0	10.0
2	邴乃慈	上海第二工业大学城市建设与环境工程学院	28	144	7.0	11.0
3	孙志国	上海第二工业大学城市建设与环境工程学院	12	35	3.0	5.0
4	马长文	上海第二工业大学城市建设与环境工程学院	11	33	3.0	5.0