大尺寸像素电荷转移的优化方法

• 作者: 姚素英 张冬苓 徐江涛 徐超 韩立镪 高志远
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: CMOS图像传感器 大尺寸像素 电势梯度 电荷转移效率
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 传感器信号处理
• 页码范围: 1525-1531
• 页数: 7页
• 分类号: TN366
• 字数: 2499字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2013.11.011

摘要

为了提高CMOS图像传感器大尺寸像素的电荷转移效率，消除图像拖尾，通过对像素内电荷转移的RC模型分析，提出一种优化电荷转移的方法。从工艺和版图两方面进行优化，工艺方面是在N埋层的形成步骤中增加一步P型杂质注入，使光电二极管内存在电场，增强电荷转移；版图方面是优化光电二极管的版图为U型，使传输栅伸进光电二极管内尽量长，减少RC模型的传输级数，提高电荷转移效率。与传统像素相比，工艺和版图的优化使电荷转移效率分别提高了2倍和3.3倍，转移时间也分别缩短到传统像素结构的26%和30%左右。对传统像素结构进行工艺和版图同时优化则使电荷转移效率提高了9.5倍。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚素英	天津大学电子信息工程学院	160	911	14.0	21.0
2	徐江涛	天津大学电子信息工程学院	78	323	11.0	14.0
3	徐超	天津大学电子信息工程学院	24	134	6.0	11.0
4	高志远	天津大学电子信息工程学院	7	9	2.0	3.0
5	张冬苓	天津大学电子信息工程学院	3	9	2.0	3.0
6	韩立镪	天津大学电子信息工程学院	2	2	1.0	1.0