氟碳合成高纯四氟化碳的工艺技术

• 作者: 唐忠福
• 来源期刊: 低温与特气
• 学科: 工学
• 关键词: 四氟化碳 合成 吸附 精馏
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 特气制备
• 页码范围: 32-34
• 页数: 3页
• 分类号: TQ127.12
• 字数: 1578字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7804.2013.01.008

摘要

随着半导体产业的迅猛发展,对高纯四氟化碳(CF4)的需求日益显现.然而,有关生产高纯CF4的技术报道较少,限制了微电子产业的发展进程.综述了国内外氟碳直接合成四氟化碳的工艺技术,并作出了展望,同时对产品纯化所涉及的碱洗、低温精馏、吸附等方法进行了概述.根据本公司现行的生产工艺,生产的高纯CF4质量好且成本低,可以满足国内市场的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐忠福		1	2	1.0	1.0