常压微波等离子体反应器的设计与实现

• 作者: 张兆镗 童玲 赵冰 陈彦
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 常压 微波等离子体 反应器 HFSS
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 设备设计与开发
• 页码范围: 4-7
• 页数: 4页
• 分类号: TN12
• 字数: 2839字
• 语种: 中文

摘要

本文设计了一个基于BJ26矩形波导的常压微波等离子体反应器.微波反应器对于等离子体的产生起关键性作用,本设计中采用了矩形压缩波导结构.首先运用Ansoft HFSS仿真软件对反应器进行了模拟计算,得到不同矩形压缩波导腔体内的电场分布,从而对腔体进行了优化设计,最终制作了常压微波等离子体反应器.将反应器安装在微波系统中,获得了频率为2.45 GHz功率可调的稳定的微波等离子体.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈彦		54	450	12.0	18.0
2	童玲		75	554	12.0	19.0
3	张兆镗		16	126	5.0	11.0
4	赵冰		1	5	1.0	1.0