MEMS振动传感器快速自动标定系统

• 作者: 李博 沈路 王娟
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 振动传感器 自动标定 静态参数 动态参数
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 453-457
• 分类号: TH703|TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2013.07.009

摘要

针对MEMS振动传感器批量化标定要求,建立了一套MEMS振动传感器快速自动标定系统,可实现传感器静态和动态指标的快速多通道标定.首先介绍MEMS振动传感器的基本工作原理、静态以及动态数学模型,并根据静态参数和动态参数的标定要求,利用振动台、标准传感器、上位机电脑以及后台程序建立了MEMS振动传感器自动标定系统；通过数字编程接口,可以实现振动传感器的自动标定.最后,以中国电子科技集团公司第十三研究所研制MSA1000系列振动传感器作为试验对象,对传感器的偏值、标度因数、幅频及相频特性进行了标定和比对测试,充分验证了此种方法的效果和正确性,有效提高了MEMS振动传感器的标定效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李博	中国电子科技集团公司第十三研究所	22	45	4.0	5.0
2	王娟	中国电子科技集团公司第十三研究所	21	33	3.0	5.0
3	沈路	中国电子科技集团公司第十三研究所	5	4	1.0	1.0