KDP晶体金刚石线锯切割表面缺陷分析

• 作者: 毕文波 毕玉超 葛培琪 高玉飞
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: KDP晶体 线锯切割 表面缺陷 锯切参数
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 页码范围: 1278-1282
• 页数: 5页
• 分类号: O734
• 字数: 1985字
• 语种: 中文

摘要

采用树脂金刚石线锯对KDP晶体进行了锯切实验,使用扫描电子显微镜对KDP晶体锯切的表面缺陷进行了分析,分析了走丝速度和工件进给速度对KDP晶体表面缺陷特征的影响.分析发现线锯锯切的晶片表面缺陷主要有呈锯齿状形态的沟槽、表面破碎、划痕、橘皮状的外观、凹坑、以及锯切表面嵌入脱落磨粒和切屑.走丝速度增大,工件进给速度降低,锯切材料的表面缺陷逐渐由以脆性破碎凹坑为主转变为以材料微切削去除留下的沟痕为主.锯丝表面脱落的金刚石磨粒在锯切过程中在锯丝压力作用下挤压嵌入或冲击加工表面造成凹坑,对材料表面和亚表面质量的损害严重.其分析结果为获得高质量的锯切表面,进一步优化工艺参数提供了实验参考依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	葛培琪	山东大学机械工程学院	122	1523	21.0	33.0
5	高玉飞	山东大学机械工程学院	27	232	9.0	14.0
6	毕文波	山东大学机械工程学院	27	114	7.0	10.0
7	毕玉超	山东大学机械工程学院	2	16	2.0	2.0