热处理温度对溶胶凝胶法制备ZnO∶Sn薄膜性能的影响

• 作者: 张效华 胡跃辉 胡鸿豪 陈义川 陈俊 陈新华
• 来源期刊: 陶瓷学报
• 学科: 工学
• 关键词: 透明氧化物半导体 ZnO薄膜 Sn掺杂 溶胶-凝胶法
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 页码范围: 5-10
• 页数: 6页
• 分类号: TQ174.75
• 字数: 2611字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶法在石英玻璃上制备掺锡氧化锌(ZnO∶Sn)透明导电薄膜,研究了干燥温度和退火温度对薄膜结晶度、微观结构、光电特性的影响.采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见光光度计(UV-VIS)和四探针法等分析方法对ZnO∶Sn薄膜进行分析表征,结果表明:在300℃温度下干燥10min后,在700℃空气中退火1h制备出的ZnO∶Sn薄膜表面平整,具有c轴择优取向,平均透过率达到92％以上,电阻率仅为13.6Ω· cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张效华	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	25	69	5.0	7.0
2	胡跃辉	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	54	127	6.0	8.0
3	陈义川	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	38	96	6.0	7.0
4	胡鸿豪	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	55	225	8.0	12.0
5	陈俊	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	17	55	5.0	6.0
6	陈新华	景德镇陶瓷学院机械电子工程学院	6	28	4.0	5.0