石墨烯压力传感器的研究进展

• 作者: 师帅 徐春林 方靖 汪学方 蒋圣伟 袁娇娇
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 石墨烯 压力传感器 高量程 高灵敏度 纳米级
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 447-452,457
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2013.07.008

摘要

对几种石墨烯压力传感器的研究进展进行了综述,包括压力传感器结构、原理及其电学、力学与机械等性能的研究,并指出了各种石墨烯压力传感器的优缺点.从中可以发现,石墨烯压力传感器比硅压力传感器具有更优异的性能,包括高量程、高灵敏度以及纳米级尺寸.这些优点预示石墨烯压力传感器将有望在更多场合得到应用,如在生物医学领域可被用来检测人体内部血压或者组织压力.目前,石墨烯压力传感器的研究主要是理论与实验研究,实现商业化还需要一段时间,但是石墨烯的制备已实现商业化,石墨烯压力传感器也将走进人们的生活.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪学方	华中科技大学机械科学与工程学院微系统中心	32	210	8.0	12.0
2	蒋圣伟	华中科技大学机械科学与工程学院微系统中心	4	27	3.0	4.0
3	师帅	华中科技大学机械科学与工程学院微系统中心	3	25	3.0	3.0
4	袁娇娇	华中科技大学机械科学与工程学院微系统中心	3	25	3.0	3.0
5	方靖	华中科技大学机械科学与工程学院微系统中心	3	25	3.0	3.0
6	徐春林	华中科技大学机械科学与工程学院微系统中心	2	19	2.0	2.0