基底对TiNxOy太阳能选择性吸收薄膜性能的影响

• 作者: 丁建宁 杨娟 范真 袁宁一
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: TiNxOy薄膜 太阳能 光谱性能 粘附性 基底多孔结构
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与探索
• 页码范围: 16-18
• 分类号: TG174.444|O484.4
• 语种: 中文

摘要

采用磁控溅射法,分别在铜基、铝基上制备AIN/TiNxOy/Al多层膜,对比了该膜系与铜基和铝基的粘附性能,分析了与基底粘附性能的差异原因.采用二次阳极氧化方法使铝基底表面形成多孔微结构,再次镀多层膜,表征了膜系的表面形貌、光谱吸收性能和反射率,研究了微结构对薄膜性能的影响.结果表明:薄膜与铝基的粘附性较好,基底表面形成多孔微结构能有效提高其光谱吸收率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨娟	江苏大学微纳米研究中心	88	623	13.0	21.0
2	丁建宁	江苏大学微纳米研究中心	146	769	14.0	19.0
4	范真	江苏大学微纳米研究中心	61	532	11.0	20.0
8	袁宁一	常州大学低维材料微纳器件与系统中心	35	38	4.0	5.0