种子层诱导溶胶-凝胶法Li,Mg掺杂ZnO薄膜的结构及光电性能研究

• 作者: 严清峰 张利静 方华靖 沈光球 沈德忠 王晓青
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化锌薄膜 溶胶-凝胶法 种子层 旋涂 光致发光
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 页码范围: 1272-1277
• 页数: 6页
• 分类号: O77+3
• 字数: 4181字
• 语种: 中文

摘要

本文以ZnO为种子层采用溶胶-凝胶法制备了Li、Mg掺杂的氧化锌薄膜.利用XRD、SEM、PL等手段对薄膜的结构、表面形貌和发光性能进行了表征,研究了不同掺杂情况、种子层、旋涂次数对Li、Mg掺杂的ZnO薄膜性能的影响.结果表明预铺种子层、旋涂8次、在580℃下退火的条件下制得的薄膜性能最好,通过Li、Mg共掺杂使得ZnO薄膜的光致发光性能增强近5倍,近带边发射峰发生蓝移,禁带宽度变大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈光球	清华大学化学系	16	148	6.0	11.0
2	王晓青	清华大学化学系	22	150	7.0	11.0
3	沈德忠	清华大学化学系	18	98	6.0	8.0
4	严清峰	清华大学化学系	3	13	3.0	3.0
5	张利静	清华大学化学系	1	6	1.0	1.0
6	方华靖	清华大学化学系	1	6	1.0	1.0