无源压力传感器信号拾取系统

• 作者: 李凯丽 李莹 梁庭 洪应平 熊继军 秦丽
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 无源压力传感器 传感器信号拾取平台 灵敏度 耦合距离 品质因数 非接触
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 442-446
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2013.07.007

摘要

针对传感器在高温环境通过直接接触测量引起电引线失效的难题,采用非接触方式完成无源压力传感器信号拾取,研究并设计由电感与可变电容串联组成的环氧树脂基底传感器.采用信号发生器、示波器、阻抗分析仪搭建两种无线信号拾取平台,并通过采集读取天线端频率与相位信号表征量完成传感器信号拾取.随着传感器中可变电容的增大,传感器灵敏度逐渐减小,与理论值相比,四组传感器测试误差分别为5.1％,2.9％,3.4％和5.56％.耦合距离与传感器中串联电感外径比1:1时,耦合效果较好,增加电感金属层厚度及减小串联电容可增大品质因数,提高测试精度.