圆形IDT结构声表面波滤波器的设计与实现

• 作者: 刘桥 姚祖铭 杨发顺 王代强 陈雨青 龚红
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波带通滤波器 变迹加权 圆形IDT结构 插入损耗 硅基AlN薄膜 δ函数
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 50-53
• 页数: 4页
• 分类号: TN713
• 字数: 1730字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2013.04.014

摘要

采用硅基AlN薄膜作为压电衬底,利用改进的δ函数模型对变迹加权圆形IDT结构进行建模仿真,根据仿真结果设计SAW带通滤波器版图,并在实验室制作了中心频率为300 MHz,带内插损8 dB的SAW带通滤波器样品.测试结果表明,其仿真结果与试验结果一致性较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘桥	贵州大学理学院	111	627	14.0	20.0
3	杨发顺	贵州大学理学院	54	125	5.0	8.0
5	陈雨青		30	127	5.0	10.0
6	王代强	贵州大学人民武装学院	31	84	5.0	7.0
19	龚红	贵州大学理学院	7	10	1.0	3.0
20	姚祖铭	贵州大学人民武装学院	4	11	2.0	3.0