两步法制备高择优取向的AZO薄膜

• 作者: 严清峰 方华靖 沈德忠 王晓青
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: AZO薄膜 种子层 溶胶凝胶 光电性能
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 页码范围: 1257-1260
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2604字
• 语种: 中文

摘要

通过水热生长的预处理步骤在普通玻璃载玻片表面铺设种子层,然后采用旋涂法在处理好的衬底上涂覆前驱体溶胶,成功地制备出沿(002)晶面择优取向生长的Al掺杂的ZnO薄膜(AZO)薄膜.利用X射线衍射分析、扫描电镜表征薄膜形貌,并测定薄膜的透射率及电阻率.研究了种子层对AZO薄膜结晶性能、表面形貌及光电性能的影响.结果表明:种子层减少了薄膜生长初期的非晶成份,促进了薄膜的晶化.薄膜在可见光范围内平均透射率超过85％,导电性能也有所改善.