铸锭多晶硅片晶体质量差异性研究

• 作者: 刘振淮 张驰 熊震 陈雪 黄振飞
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 杂质 位错 少子寿命 复合中心
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 页码范围: 445-448
• 页数: 4页
• 分类号: TK154
• 字数: 2389字
• 语种: 中文

摘要

以铸锭多晶硅片具有质量差异性的区域为研究对象,综合分析其杂质浓度、位错密度和少子寿命间的关系.结果表明:当位错密度相近时,高浓度的金属杂质会引起少子寿命的大幅降低；而当金属杂质浓度相近时,位错浓度的升高也会引起少子寿命的降低.金属杂质和位错等微缺陷作为电活性中心极大地制约了铸锭多晶硅晶体质量的提高,必须通过工艺的改善加以消除.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张驰		1	1	1.0	1.0
2	熊震		1	1	1.0	1.0
3	陈雪		3	13	1.0	3.0
4	黄振飞		3	13	1.0	3.0
5	刘振淮		2	13	1.0	2.0