Dy3+和La3+掺杂ZnO薄膜的特点及其气敏传感特性

• 作者: 康俊勇 王纯子 陈雪 黄凯
• 来源期刊: 厦门大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 传感器 La掺杂 Dy掺杂 乙醇
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 160-164
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2489字
• 语种: 中文
• DOI: 10.6043/j.issn.0438-0479.2013.02.004

摘要

采用真空蒸发的方法制备了掺杂原子比为3％、5％和9％的La掺杂和Dy掺杂的ZnO薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)谱和X射线光电子能谱(XPS)表征了所制得的ZnO薄膜的特性.发现所有薄膜都沿C轴取向优先生长.在对ZnO薄膜气敏特性的测量中,在低温条件下掺杂ZnO薄膜的电阻比非掺杂ZnO薄膜的小,且对乙醇和丙酮的灵敏度显著增强,且其中Dy掺杂的ZnO薄膜的气敏特性较La掺杂的ZnO薄膜为高.而空气中暴露9个月后的薄膜的气敏特性表明掺杂ZnO薄膜具有很好的稳定性.同时讨论了气敏传感机制和掺杂行为对薄膜灵敏度的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄凯	厦门大学物理与机电工程学院福建省半导体材料与应用重点实验室	6	13	2.0	3.0
2	康俊勇	厦门大学物理与机电工程学院福建省半导体材料与应用重点实验室	29	84	5.0	8.0
3	陈雪	厦门大学物理与机电工程学院福建省半导体材料与应用重点实验室	9	10	2.0	3.0
4	王纯子	厦门大学物理与机电工程学院福建省半导体材料与应用重点实验室	2	4	2.0	2.0