含氟电子气体研究进展

• 作者: 张建君 李盛姬 黄雪静 齐海
• 来源期刊: 低温与特气
• 学科: 经济
• 关键词: 电子气体 清洗剂 氟化工 半导体
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: F426.7
• 字数: 4375字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7804.2013.01.001

摘要

含氟电子气体在半导体/电子工业中主要用作清洗剂和蚀刻剂.综述了含氟电子气体品种、性能及其研究进展,指出研究方向与新一代含氟电子气体,以供同仁参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李盛姬		3	17	2.0	3.0
2	黄雪静		3	23	3.0	3.0
3	齐海		5	17	2.0	4.0
4	张建君		40	49	4.0	6.0