划痕法测定TiAlN涂层结合强度的研究

• 作者: 杨伏良 郭磊 陈力学 马凯 黄珂
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 TiAlN涂层 结合强度
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 标准及检测
• 页码范围: 107-111
• 分类号: TG174.42
• 语种: 中文

摘要

采用磁控溅射法在不锈钢表面制备了TiAlN涂层,采用压入法及划痕法表征了涂层的结合强度.分析表明,压入法只能作为一种定性的测定方法,该法测得TiAlN涂层的结合强度达到HF3.划痕法结合了声信号、摩擦力信号和划痕微观形貌,可以定量测定结合强度,该法测得在压头曲率半径为200μm的情况下,TiAlN涂层的临界载荷达到13 N,比传统TiN涂层提高了45％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨伏良	中南大学材料科学与工程学院	41	686	15.0	25.0
5	黄珂	中南大学材料科学与工程学院	9	113	6.0	9.0
9	马凯	中南大学材料科学与工程学院	12	51	5.0	7.0
13	陈力学		1	25	1.0	1.0