氧化光栅型垂直腔面发射激光器的研究

• 作者: 刘云 宁永强 张祥伟 王立军 秦莉
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 垂直腔面发射激光器 氧化光栅 偏振控制
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 1517-1520
• 页数: 4页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 1775字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20133411.1517

摘要

通过分析矩形出光孔径和亚波长金属光栅结构,发现大孔径高功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)的偏振控制的难点在于横模非常复杂.因此提出一种新型的氧化光栅型VCSEL结构,不仅能够很好地在有源区内引入各项异性的增益结构,并且最大的优势还在于能够完美地控制大孔径VCSEL的横模.通过有限元软件对器件有源区的电流分布进行了模拟,发现当光栅脊的宽度为1.8 μm时,载流子在光栅两端聚集的现象基本上可以消除,而且其电流密度分布差可以达到很高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张祥伟	发光学及应用国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	2	8	2.0	2.0
10	宁永强	发光学及应用国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	6	180	4.0	6.0
11	秦莉	发光学及应用国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	6	180	4.0	6.0
12	刘云	发光学及应用国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	24	3.0	3.0