用于低功耗微型磁通门的Co77Fe2.5Mn1.4Mo2.1Si13B4非晶薄膜研究

• 作者: 侯晓伟 刘诗斌 李菊萍 杨尚林 郭博
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: Co 基非晶薄膜 微型磁通门 磁控溅射 退火
• 年，卷（期）: 2013,（18）
• 所属期刊栏目: 工艺?技术
• 页码范围: 2719-2723
• 页数: 5页
• 分类号: TN105|TP212
• 字数: 3920字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2013.18.030

摘要

采用直流磁控溅射方法制备了一种适用于微型磁通门的 Co77 Fe2.5 Mn1.4 Mo2.1 Si13 B4非晶软磁铁芯薄膜，并对薄膜进行了200℃外加面内横向磁场的真空退火。利用振动样品磁强计(VSM)、X 射线扫描仪(XRD)以及扫描电子显微镜(SEM)测试了薄膜的磁滞回线、相组成、表面形貌并进行了成分分析；使用制备得到的薄膜作为双铁芯磁通门的铁芯，测试了磁通门的激励电流、灵敏度和线性范围。结果表明，制备得到的薄膜主要呈非晶态，具有较大的相对磁导率并且磁滞回线在小磁场下出现明显的拐点；用作磁通门铁芯薄膜时，能得到类似使用Co基非晶带材铁芯时的明显的磁通门信号；工作在40kHz 时，磁通门传感器能以有效值22mA 的激励电流获得2700V/T 的输出电压灵敏度。因此，制备得到的薄膜适用于低功耗、高灵敏度微型磁通门传感器。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘诗斌	西北工业大学电子信息学院	84	743	15.0	22.0
2	杨尚林	西北工业大学电子信息学院	7	58	5.0	7.0
3	郭博	西北工业大学电子信息学院	11	78	6.0	8.0
4	李菊萍	西北工业大学电子信息学院	8	49	5.0	6.0
5	侯晓伟	西北工业大学电子信息学院	7	32	4.0	5.0