大能量高功率准分子激光的应用及关键技术

• 作者: 余吟山 方晓东 游利兵 赵家敏
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 准分子激光 大能量 高功率 磁脉冲压缩 激光退火
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 激光技术与器件
• 页码范围: 696-702
• 分类号: TN248.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2013.06.009

摘要

实用型大能量高功率准分子激光器广泛地应用于材料的加工及表面处理,介绍了其在液晶平板显示行业、太阳能光伏行业、半导体行业及汽车制造业的应用.分析了大能量高功率准分子激光器的关键技术,如大面积均匀放电技术,预电离技术,高压快脉冲激励技术以及为了得到更大的脉冲能量及功率输出而采用的双腔同步技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余吟山	中国科学院安徽光学精密机械研究所激光技术中心	29	165	9.0	11.0
2	方晓东	中国科学院安徽光学精密机械研究所激光技术中心	73	301	9.0	13.0
3	赵家敏	中国科学院安徽光学精密机械研究所激光技术中心	7	46	5.0	6.0
4	游利兵	中国科学院安徽光学精密机械研究所激光技术中心	26	135	8.0	10.0