基于PLC和组态软件的透射电镜真空控制系统

• 作者: 董全林 陈川
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 透射电子显微镜 真空系统 PLC 组态软件
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 10-13
• 页数: 4页
• 分类号: TP273|TB753
• 语种: 中文

摘要

按照透射电镜对真空系统的控制要求与真空系统的构成,采用集散控制的思想,建立了以PLC为底层核心控制器,组态王作为集中管理软件的控制系统.上位机组态软件通过以太网与下位PLC进行通讯与数据交换,实现了较为完备的透射电镜真空系统的控制,该系统已投入使用,真空度符合要求,运行效果良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董全林	北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室仪器科学与光电工程学院	47	241	9.0	13.0
2	陈川	北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室物理科学与核能工程学院	1	2	1.0	1.0