化学镀金在GaN基发光二极管电极制备上的应用

• 作者: 张珠文 毛明华 王后锦 王维昀
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 真空蒸镀 化学镀金 发光二极管 色差 附着力
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 90-92
• 分类号: TN312.8
• 语种: 中文

摘要

采用真空蒸镀与化学镀两种方法制备GaN基发光二极管(LED)金电极,分析比较了两种工艺所得芯片成本、外观色差、打线拉力.结果表明,化学镀金可选择性还原欲沉积的金属于电极上,较之蒸镀整面金属,可大幅度节省金属成本,且操作简单易行.化学镀金法所制得金属层,较蒸镀法所制得金属层表面粗糙,可有效减少电极间的色差,且能提高打线或焊线的附着力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张珠文		4	9	1.0	3.0
2	王维昀		1	1	1.0	1.0
3	王后锦		3	5	1.0	2.0
4	毛明华		3	5	1.0	2.0