可调脉冲功率(MPP)磁控溅射电源研制及放电特性的研究

• 作者: 巩春志 田修波 魏松
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 高功率脉冲磁控溅射 可调脉冲电源 放电特性 单片机
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 6-9
• 页数: 4页
• 分类号: TB79
• 语种: 中文

摘要

可调脉冲电源MPP(modulated pulsed power)磁控溅射技术是一种新型的高功率磁控溅射技术.基于STC12C5A60S2单片机为控制单元研制了MPP电源.电源可以输出多种脉冲波形,能够实现优化的高功率脉冲磁控溅射工艺.MPP放电模式表现为初始的弱放电和随后的高功率大电流放电行为.MPP放电电压影响着高功率放电电流和脉冲宽度,而放电气压主要影响起辉时刻,但对放电电流大小影响不大.引入引燃脉冲可实现低气压下的高功率大电流放电.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巩春志	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	69	320	9.0	14.0
2	田修波	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	106	515	11.0	17.0
3	魏松	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	1	3	1.0	1.0