反应等离子体制备碳锥及其表征

• 作者: 徐幸梓 王必本 陈玉安 陈轩
• 来源期刊: 重庆大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 反应等离子体 碳锥 拉曼光谱 溅射 扩散
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 页码范围: 98-102
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文

摘要

利用等离子体增强热丝化学气相沉积系统,用CH4、H2和NH3为反应气体,分别在沉积有钛膜和碳膜的Si片衬底上制备了锥形碳结构,采用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、X射线能谱仪(EDX)和显微Raman光谱仪对其形貌和结构进行了表征.SEM结果表明在沉积有碳膜的Si片衬底上易形成碳锥,EDX谱和Raman谱进一步表明形成的碳锥为碳氮结构,由sp3 C-N、sp2 C和sp2 C=N键形成.根据溅射机制和扩散机制,分析了碳锥的形成.同时,还对碳锥Raman谱的荧光背景进行了分析,结果表明由于氮的掺杂,使得碳锥由非极性的碳材料变成为极性碳材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐幸梓	重庆大学材料科学与工程学院	15	63	4.0	7.0
2	陈玉安	重庆大学材料科学与工程学院	33	431	10.0	20.0
3	王必本	重庆理工大学化学与化工学院	11	13	2.0	3.0
4	陈轩	重庆大学材料科学与工程学院	2	1	1.0	1.0