复合型便携式真空计校准装置

• 作者: 卢耀文 李得天 查良镇 陈旭 齐京
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 校准装置 校准方法 便携式 真空计
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TB77
• 语种: 中文

摘要

在原有基础上研制出复合型便携式真空计校准装置.将静态比较法、静态膨胀法及动态流量法复合在一台装置上,仅采用一台满量程为1.33 × 105 Pa的电容薄膜真空计作为参考标准,实现较宽的真空度校准范围.实验结果表明,装置的校准范围为105 Pa～10-5 Pa,合成标准不确定度为1.3％～2.5％.装置的外形尺寸为450 mm×400 mm× 750 mm,总重量小于35 kg,在原有校准装置的基础上减小了重量和成本,更适用于许多应用领域中真空计的现场校准.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天		63	622	15.0	20.0
2	陈旭		71	482	10.0	20.0
3	查良镇		25	295	10.0	17.0
4	齐京		14	101	6.0	9.0
5	卢耀文		6	67	5.0	6.0