高密度光栅膜片制备工艺的试验研究

• 作者: 丘昆 张子健 杜云海 王帅 田彬
• 来源期刊: 河南科学
• 关键词: 高密度光栅 金刚石-镍 电镀 PET镀铝膜
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 所属期刊栏目: 机械电子与计算机科学
• 页码范围: 1193-1196
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7|O436.1
• 语种: 中文

摘要

高密度光栅作为色散元件，广泛用于光谱分析、云纹干涉法位移测量等，但传统光栅制备工艺复杂且成本高昂。为了方便结构分析应用，研究了粘贴式高密度光栅膜片的直接压印制备工艺及其流程。先用传统工艺制备的金属质光栅通过电镀制备金刚石-镍光栅母板模片，再用母板模片在普通PET镀铝反光膜上直接高温压印即可制备可粘贴式高密度光栅膜。试验结果表明，选用适当厚度的PET反光膜，控制适当温度和压力，可制备出衍射效果良好的粘贴式高密度光栅膜片，且制备工艺相对简单。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王帅	郑州大学力学与工程科学学院	47	68	4.0	6.0
2	杜云海	郑州大学力学与工程科学学院	25	131	7.0	10.0
3	田彬	郑州大学力学与工程科学学院	1	0	0.0	0.0
4	丘昆	郑州大学力学与工程科学学院	1	0	0.0	0.0
5	张子健	郑州大学力学与工程科学学院	1	0	0.0	0.0