纳米金刚石薄膜制备技术的研究进展

• 作者: 周一丹 唐通鸣 张华 李志扬
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米材料 金刚石薄膜 化学气相沉积 加工原理
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 专题综述
• 页码范围: 134-139
• 页数: 6页
• 分类号: TG156
• 字数: 3699字
• 语种: 中文

摘要

介绍纳米金刚石薄膜的特性和应用,综合叙述以化学气相沉积技术为基础、拓展多种纳米金刚石薄膜制备技术的研究进展,分析纳米金刚石薄膜的特性机理,并展望今后的研究方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张华	南通大学机械工程学院	51	133	7.0	9.0
2	周一丹	南通大学机械工程学院	42	170	7.0	11.0
3	唐通鸣	南通大学机械工程学院	16	67	5.0	7.0
4	李志扬	南通大学机械工程学院	37	129	7.0	10.0