微米尺度悬浮式机电器件的电荷穿梭特性

• 作者: 孙建东 秦华 陈鹏 顾晓峰
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 机电式单电子晶体管(EMSET) 纳机电系统 电荷穿梭 感应电流 悬浮式 充放电流
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 器件与技术
• 页码范围: 206-209,263
• 分类号: TN301.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2013.04.002

摘要

研究限制在电极间并能做自由往复运动的微米尺度金属球的电荷穿梭特性,作为进一步研究纳米机电式穿梭器件的模型器件.通过测量不同电压下的穿梭电流,验证经典模型预测的电流与电压特性.精确测量实时的电荷穿梭信号脉冲,证明该系统中存在模型预测的电荷穿梭电流和模型未能预测的感应电流.通过对电极-微球-电板结构的电场模拟,揭示了产生感应电流的物理机制:微球与电极碰撞过程产生动态电容变化,形成瞬时的感应电流.通过测量不同电压下穿梭电流和穿梭频率的关系,修正了经典穿梭模型,给出了感应电流引起的电荷修正因子.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾晓峰	江南大学电子工程系轻工过程先进控制教育部重点实验室	115	265	9.0	11.0
2	秦华	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室	7	38	3.0	6.0
3	陈鹏	江南大学电子工程系轻工过程先进控制教育部重点实验室	5	0	0.0	0.0
4	孙建东	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室	4	10	2.0	3.0