TiC0.81N0.48和TiC0.61N0.44O0.15涂层的热稳定性能

• 作者: Peter Leicht 刘一雄 张雨萌 彭笑 朱丽慧
• 来源期刊: 材料研究学报
• 学科: 工学
• 关键词: 材料失效与保护 TiCN涂层 热稳定性 相转变 硬度
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 312-316
• 页数: 5页
• 分类号: TG174
• 语种: 中文

摘要

用中温化学气相沉积工艺制备TiC0.81N0.48和TiC0.61N0.44O0.15涂层,用显微维氏硬度计测定TiCN和TiCNO涂层的硬度,用X射线衍射仪和激光拉曼光谱仪分析涂层的结构,研究了TiCN和TiCNO涂层在700℃真空退火后的组织结构转变对硬度的影响.结果表明:真空退火后TiC0.81N0.48和TiC0.61N0.44O0.15涂层的硬度先下降,然后趋于稳定.TiC0.81N0.48和TiC0.61N0.44O0.15涂层在700℃真空退火时,C原子从TiCN晶格析出后先形成sp3C;随着退火时间的延长,sp3C逐渐向sp2C转变；随后sp2C团簇增加,无序程度降低,TiCN逐渐分解为TiC和TiN相.硬度的降低,是由于涂层内缺陷密度的减少使应力释放,还与高温下TiC0.81N0.48和TiC0.61N0.44O0.15涂层组织结构的转变,特别是sp3C和sp2C的形成有关.与TiC0.61N0.44O0.15涂层相比,在700℃真空退火时TiC0.81N0.48涂层组织转变的进程加快,热稳定性能较差.