高精度激光三角位移测量系统误差分析

• 作者: 何凯 张勤耀 王建新 陈星
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光三角法 光斑定位 二次法定标 光电探测器 非接触测量
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 62-66
• 分类号: TN247
• 语种: 中文

摘要

激光三角测量方法因其具有结构简单、非接触、信号处理便捷等特点而得到广泛应用.针对工程应用中提出的高精度、大工作距离的测量要求,从激光三角位移传感器结构、光斑定位不确定度和定标方法等方面进行分析,分别讨论了各个因素对于测量精度的影响,并提出了优化方案.经实验验证,该激光三角位移测量系统在110mm的工作距离下测量误差小于1.2μm,优于在同等工作条件下的商用激光三角位移传感器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈星	中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室	33	547	13.0	23.0
2	何凯	中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室	22	148	5.0	11.0
3	王建新	中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室	17	92	5.0	9.0
4	张勤耀	中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室	5	42	3.0	5.0