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摘要:
激光三角测量方法因其具有结构简单、非接触、信号处理便捷等特点而得到广泛应用.针对工程应用中提出的高精度、大工作距离的测量要求,从激光三角位移传感器结构、光斑定位不确定度和定标方法等方面进行分析,分别讨论了各个因素对于测量精度的影响,并提出了优化方案.经实验验证,该激光三角位移测量系统在110mm的工作距离下测量误差小于1.2μm,优于在同等工作条件下的商用激光三角位移传感器.
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文献信息
篇名 高精度激光三角位移测量系统误差分析
来源期刊 光学与光电技术 学科 工学
关键词 激光三角法 光斑定位 二次法定标 光电探测器 非接触测量
年,卷(期) 2013,(3) 所属期刊栏目 光电测量
研究方向 页码范围 62-66
页数 分类号 TN247
字数 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 陈星 中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室 33 547 13.0 23.0
2 何凯 中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室 22 148 5.0 11.0
3 王建新 中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室 17 92 5.0 9.0
4 张勤耀 中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室 5 42 3.0 5.0
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研究主题发展历程
节点文献
激光三角法
光斑定位
二次法定标
光电探测器
非接触测量
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学与光电技术
双月刊
1672-3392
42-1696/O3
大16开
武汉市阳光大道717号
38-335
2003
chi
出版文献量(篇)
2142
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3
总被引数(次)
9791
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