SiO2钝化膜中钠离子的二次离子质谱分析

• 作者: 何友琴 王东雪 陈潇 马农农
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: 钝化膜 钠离子浓度 二次离子质谱分析
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 检验检测
• 页码范围: 69-71
• 页数: 3页
• 分类号: O652
• 语种: 中文

摘要

采用二次离子质谱分析手段,检测半导体晶片SiO2钝化膜中钠离子的浓度分布,采用标样法,计算得出相对灵敏度因子,给出浓度随深度的定量测试结果,结果表明,该方法检测灵敏度较高,既给出钠离子在钝化膜中的分布,也可以得到面密度,并研究了钠离子的分布特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何友琴	中国电子科技集团公司第四十六研究所	4	0	0.0	0.0
2	马农农	中国电子科技集团公司第四十六研究所	7	12	2.0	3.0
3	陈潇	中国电子科技集团公司第四十六研究所	5	2	1.0	1.0
4	王东雪	中国电子科技集团公司第四十六研究所	3	1	1.0	1.0