两步法制备ZnO∶Eu3+薄膜及其光学特性的研究

• 作者: 侯景芬 姚宁 潘志峰 王巍 魏英耐
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 ZnO∶Eu3+ 两步法 微结构 光学特性
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 半导体材料
• 页码范围: 851-856
• 分类号: TN304.055
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2013.11.011

摘要

通过两步法在普通载玻片上成功制备了具有六角纤锌矿结构且沿(002)衍射峰c轴择优取向生长的铕掺杂氧化锌(ZnO∶ Eu3+)薄膜.首先利用CS-300直流磁控溅射镀膜机在载玻片上制备ZnO种子层,然后利用水热法在ZnO种子层上生长ZnO∶ Eu3+薄膜.利用X射线衍射(XRD)谱分析表明,Eu3+掺杂使薄膜的结晶度降低,平均晶粒尺寸变小,且(002)衍射峰的峰位向小角度偏移.采用扫描电子显微镜(SEM)观察薄膜的表面形貌,膜层表面颗粒分布均匀致密.室温光致发光(PL)谱测试表明,ZnO基质与Eu3+之间存在有效的能量传递,325 nm的波长激发下,在波长615 nm左右观察到强而尖锐的红色特征峰,最佳掺杂比为5％;该实验结果为扩大ZnO∶Eu3+薄膜的应用领域提供了部分依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王巍	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	33	87	5.0	7.0
2	姚宁	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	122	692	12.0	18.0
3	魏英耐	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	15	18	2.0	3.0
4	潘志峰	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	28	33	2.0	5.0
5	侯景芬	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	2	1	1.0	1.0