对吸气剂除气有关要素的探讨

• 作者: 彭松华 朱雷 王海静 黄理胜
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 吸气剂 除气 分压强定量测定 气体特性
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 真空获得与设备
• 页码范围: 75-79
• 页数: 5页
• 分类号: TB774
• 语种: 中文

摘要

除气是吸气剂产品生产的关键环节,为了优化除气工艺做过不同形式的技术探讨.在用质谱进行这方面探讨中、初步得到了比较清晰的数据结果、为日后进一步工作做了准备.本文简要介绍这方面情况并进行有关讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱雷		1	0	0.0	0.0
2	王海静		1	0	0.0	0.0
3	彭松华		1	0	0.0	0.0
4	黄理胜		1	0	0.0	0.0