磁控溅射TiAlN薄膜的制备及性能研究

• 作者: 倪茂林 吴锋 张靖华 金杰
• 来源期刊: 轻工机械
• 学科: 工学
• 关键词: TiAlN薄膜 组织结构 显微硬度 摩擦系数
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 新设备·新材料·新方法
• 页码范围: 63-66
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2086字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2895.2013.01.016

摘要

采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀的方法,在工具钢表面制备了TiAlN薄膜.运用EDS、XRD和SEM对薄膜的成分、组织结构和表面形貌进行了测试,此外,也测定了薄膜的表面显微硬度、摩擦系数.结果表明,不同硬度基体上的TiAlN薄膜成分相同,膜层致密;硬、软基体上薄膜的显微硬度最高可达到2 575 HV0.05和2 295 HV0.025,摩擦系数分别在0.45和0.50左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金杰	浙江工业大学机械工程学院	27	170	6.0	12.0
2	吴锋	浙江工业大学机械工程学院	3	9	2.0	3.0
3	张靖华		1	4	1.0	1.0
4	倪茂林	浙江工业大学机械工程学院	1	4	1.0	1.0