微量Al掺杂对TiN微观结构及性能的影响

• 作者: 涂铭旌 王锦标 田亮亮 苏永要 赵海波 赵黎宁 邓涛
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 高速钢 组合源 Al-TiN 摩擦磨损
• 年，卷（期）: 2013,（18）
• 所属期刊栏目: 研究?开发
• 页码范围: 2668-2671
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.444|TB43
• 字数: 3022字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2013.18.018

摘要

采用离子辅助增强磁控溅射与离子蒸发镀二元组合源设备在高速钢基体沉积出微量 Al 掺杂的TiN涂层(Al-TiN),利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、显微硬度计对涂层的组成成分、相结构、膜基结合力及显微硬度进行了分析；用摩擦磨损实验机及台阶仪分析了薄膜的摩擦磨损性能。研究了微量 Al 掺杂对薄膜的微结构及性能的影响。结果表明,TiN 涂层中微量Al的存在使涂层的膜基结合力、耐摩擦磨损性能得到明显改善。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	涂铭旌	重庆文理学院材料交叉学科研究中心	41	176	7.0	11.0
2	苏永要	重庆文理学院材料交叉学科研究中心	16	61	5.0	7.0
3	赵海波	四川大学分析检测中心	26	175	7.0	12.0
4	王锦标	重庆文理学院材料交叉学科研究中心	15	63	5.0	7.0
5	田亮亮	重庆文理学院材料交叉学科研究中心	5	11	2.0	3.0
6	赵黎宁	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	4	13	2.0	3.0
7	邓涛	重庆文理学院材料交叉学科研究中心	1	5	1.0	1.0