纳米CeO2颗粒的表面改性及其抛光性能研究

• 作者: 付银元 周筱桐 张海峰 欧阳唐哲 肖汉宁
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化铈 表面改性 聚乙烯亚胺 抛光效率
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 专题论文
• 页码范围: 1026-1031
• 页数: 6页
• 分类号: TQ174
• 字数: 3810字
• 语种: 中文

摘要

为改善CeO2粉体的化学机械抛光(CMP)性能,采用聚乙烯亚胺(PEI)作为分散剂,对CeO2粉体表面进行改性,通过傅立叶红外光谱(FTIR)、透射电镜显微镜(TEM)、Zeta电位仪、激光粒度仪及稳定性测试等方法分析了表面改性对CeO2颗粒表面性质及其抛光液分散稳定性的影响.结果表明:纳米CeO2粉末经PEI改性后改变了其在水中的胶体性质,Zeta电位绝对值提高,CeO2颗粒间的空间位阻增加,抛光液的分散稳定性得到了明显改善.改性后纳米CeO2抛光液对手机面板玻璃的化学机械抛光(CMP)的抛光效率(MRR)由改性前的330 nm/min增加到381.6nm/min,具有更好的抛光效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖汉宁	湖南大学材料科学与工程学院	169	1990	24.0	35.0
2	付银元	湖南大学材料科学与工程学院	1	8	1.0	1.0
3	欧阳唐哲	湖南大学材料科学与工程学院	2	10	2.0	2.0
7	周筱桐	湖南大学材料科学与工程学院	1	8	1.0	1.0
8	张海峰		1	8	1.0	1.0