射频电感耦合离子源放电室内放电等离子体的二维磁流体模拟研究

• 作者: 冯春堂 耿少飞 聂军伟 赵哲 陈庆川 黄琪
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 电感耦合等离子体 数值模拟 磁流体动力学 射频离子源
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 67-70
• 页数: 4页
• 分类号: TB71+2|TB77
• 语种: 中文

摘要

为了研究平面盘香形射频离子源等离子体放电特性,对射频电感耦合离子源内的放电等离子体运用磁流体动力学建立二维磁流体模型进行数值模拟,得到了放电室内等离子体参数分布.结果发现电子由于受双极性电势的约束主要分布在放电室的中心,放电等离子体吸收能量的区域主要在放电室内距天线1 cm附近.对比电子的温度和离子密度分布,在低气压条件下,电子加热的区域和产生电离的区域是分开的,电子加热的区域出现在线圈附近,而最强的电离过程发生在双极性电势最高的位置附近.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈庆川		23	63	5.0	7.0
2	耿少飞		17	42	5.0	6.0
3	聂军伟		10	10	2.0	2.0
4	黄琪		1	1	1.0	1.0
5	冯春堂		1	1	1.0	1.0
6	赵哲		1	1	1.0	1.0