厚钛过渡层缓解铜基上热丝CVD金刚石薄膜内应力

• 作者: 代明江 侯惠君 谭笛 赵齐 邱万奇 韦春贝
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 钛过渡层 内应力 热丝化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与探索
• 页码范围: 19-23
• 分类号: TG174.444|TB43
• 语种: 中文

摘要

以紫铜为基体,在紫铜上先采用磁控溅射技术镀一层金属钛,再以H2和CH4作为反应气体,采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在钛过渡层上合成金刚石薄膜,研究不同钛过渡层厚度对金刚石薄膜质量的影响.利用X射线(XRD)、激光拉曼光谱(Raman)、扫描电镜(SEM)分析薄膜的结构、成分和表面形貌,用能谱仪(EDS)对热处理前后样品的表面进行了元素分析.研究发现,当钛过渡层厚度为3μm时,生成的金刚石薄膜受到较大内应力而发生破裂；当钛过渡层厚度为25 μm时,金刚石薄膜质量较好,薄膜受一定内应力,但没有破裂；850℃左右保温热处理12h,铜原子与钛原子发生了扩散.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱万奇	华南理工大学材料科学与工程学院	67	339	9.0	15.0
2	代明江		52	458	13.0	18.0
3	韦春贝		13	55	5.0	7.0
4	侯惠君		34	234	10.0	13.0
5	赵齐		4	15	3.0	3.0
9	谭笛		2	11	2.0	2.0