石英玻璃表面改性后的力学特性分析

• 作者: 仇中军 伊萍 卢翠 房丰洲
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 石英玻璃 表面改性 纳米压痕 磨削
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 6-10
• 分类号: TH145.1
• 语种: 中文

摘要

改变石英玻璃表面的硬度和弹性模量能提高脆性-延性转变的临界磨削深度,实现延性模式磨削.本文通过利用Na2CO3溶液和石英玻璃成分发生化学反应的方法对石英玻璃表面进行改性,并基于纳米压痕法和划痕法对改性后的石英玻璃表面进行分析,研究改性后石英玻璃表面的力学性质和材料去除过程.通过纳米压痕实验表明,Na2CO3溶液中的OH-和石英玻璃发生化学反应,能够在石英玻璃表面生成厚度约为12nm非SiO2成分的物质薄膜,降低了石英玻璃表面硬度和弹性模量,5％、15％的Na2CO3溶液分别使石英玻璃表面硬度降低了4.4％和14.2％,使弹性模量分别降低了9.4％和12.0％,理论脆延转换临界磨削深度分别被提高了3.7和39.1％,从而提高了石英玻璃延性磨削的可操作性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	房丰洲	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	60	448	12.0	18.0
2	仇中军	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	14	124	6.0	11.0
3	伊萍	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	2	30	2.0	2.0
4	卢翠	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	2	30	2.0	2.0