高频半桥直流磁控溅射电源设计

• 作者: 蒲世豪 陈东来 陈稳
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 直流磁控溅射 半桥变换 SG3525 小信号模型
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 58-61
• 页数: 4页
• 分类号: TB43|TM131.3
• 语种: 中文

摘要

稳定可靠的直流电源是直流磁控溅射镀膜质量的关键,本文采用开关频率为50 kHz的半桥拓扑,对主回路结构和参数进行设计.以SG3525控制芯片为核心,对控制回路按小信号模型建模,使用PI补偿网络,通过电阻负载实验得到稳定的直流.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒲世豪		9	12	2.0	3.0
2	陈东来		5	2	1.0	1.0
3	陈稳		2	1	1.0	1.0