蓝宝石衬底基片工艺质量检测指标及方法的研究进展

• 作者: 卓志国 周海 徐晓明 臧跃
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 蓝宝石 衬底 检测指标 检测方法 检测设备
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 制造技术/工艺装备
• 页码范围: 87-90,114
• 页数: 5页
• 分类号: TH16
• 字数: 5272字
• 语种: 中文

摘要

根据蓝宝石衬底基片国家标准和国际质量保证体系标准,结合目前蓝宝石衬底基片生产和科研的实际情况,阐述了目前蓝宝石衬底基片生长、掏棒切片、研磨抛光和清洗加工过程中的质量检测指标、检测方法,以及检测设备.指出了蓝宝石衬底基片检测技术的研究对衬底基片生产的重要性.总结了蓝宝石衬底基片检测技术的现状,半导体材料GaN衬底用蓝宝石单晶的纯度要达到99.999％以上,位错密度在102/cm2范围内,晶片切片厚度偏差不超过20μm,表面粗糙度要达到Ra0.3nm水平.指出了现有检测技术的不足和今后的发展趋势,对蓝宝石衬底检测技术的进一步发展具有引导性的作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周海		123	393	10.0	14.0
2	徐晓明		18	68	5.0	7.0
4	臧跃		5	46	4.0	5.0
10	卓志国		7	49	4.0	7.0