直拉硅单晶热场加热器设计分析

• 作者: 杨晓欣 黄建明
• 来源期刊: 炭素技术
• 学科: 工学
• 关键词: 热场 加热器 电阻 直脚加热器
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 经验交流
• 页码范围: 65-68
• 分类号: TQ165
• 语种: 中文

摘要

通过对直拉硅单晶热场及加热器的分析,提出了加热器的设计原则和电阻计算方法.并对加热器使用过程中的常见问题进行了分析,并提出了解决方案,提升了加热器的使用寿命,提高了单晶棒的品质.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄建明		2	4	1.0	2.0
2	杨晓欣		4	5	1.0	2.0