Hierarchical Porous Patterns of n-type 6H-SiC Crystals via Photo-electrochemical Etching

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篇名	Hierarchical Porous Patterns of n-type 6H-SiC Crystals via Photo-electrochemical Etching
来源期刊	材料科学技术（英文版）	学科
关键词
年，卷（期）	2013,（7）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	655-661
页数	7页	分类号
字数		语种	英文
DOI

null

Hierarchical Porous Patterns of n-type 6H-SiC Crystals via Photo-electrochemical Etching