密封器件压氦和预充氦细检漏过程中环境氦分压的影响

• 作者: 王庚林 肖祥正 薛大同
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氦质谱检漏仪 检漏 密封器件 压氦 预充氦 氦分压的影响
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 730-734
• 分类号: TB774+.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2013.08.02

摘要

分别推导和分析了环境大气氦分压对压氦法的影响,地球干洁大气氦分压对预充氦法和预充氦密封器件压氦法复检的影响.证明对于压氦法,不需要考虑地球干洁大气氦分压的影响.但是如果候检室环境大气氦分压显著升高,对于内腔有效容积大,且等效标准漏率小的密封器件,会加大测量漏率值,所以压氦后,被检器件应尽快离开压氦设备所在的房间.对于预充氦法,地球干洁大气氦分压会使测量漏率通过极大值后出现极小值,且当候检时间与内腔有效容积之比大于100 h/cm3时,极小值点的气流仍处于分子流状态,不能靠粗检鉴别,所以需压氦法复检加粗检,才能防止漏检.另外,地球干洁大气氦分压会使预充氦法候检时间的第一特征点变大,从而扩大了需压氦法复检加粗检的范围,但第二特征点不变,也不影响压氦法复检加粗检的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王庚林		24	61	4.0	6.0
2	薛大同	兰州空间技术物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	8	45	4.0	6.0
3	肖祥正	兰州空间技术物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	3	11	2.0	3.0